MEMS流量傳感器是一種用于檢測(cè)液體、氣體等介質(zhì)的流量參數(shù)并將其轉(zhuǎn)換為其他形式的信號(hào)進(jìn)行輸出的一種檢測(cè)用儀器儀表。而歐姆龍獲得專利的緊湊型MEMS流量傳感器（MEMS Flow Sensors）可檢測(cè)堵塞的過(guò)濾器數(shù)據(jù)。
歐姆龍家庭MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）的流量傳感器包括能夠測(cè)量流速和質(zhì)量流率的運(yùn)動(dòng)具有高重復(fù)精度的智能緊湊模型。這些傳感器可用于測(cè)量1 LPM至50 LPM（升/分鐘）的質(zhì)量流量。MEMS流量芯片實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。
D6F-P，D6F-V和D6F-W傳感器采用了粉塵分離系統(tǒng)（DSS），可用于監(jiān)控風(fēng)扇性能，檢測(cè)計(jì)算機(jī)和投影儀中堵塞的過(guò)濾器，以及商用HVAC系統(tǒng)中的VAV控制。
特性：
由于MEMS技術(shù)，尺寸小
流量傳感器，可與大多數(shù)醫(yī)療，惰性焊接和燃燒氣體一起使用
卓越的可重復(fù)性和準(zhǔn)確性
應(yīng)用：
非常適用于堵塞的過(guò)濾器檢測(cè)和風(fēng)扇性能監(jiān)控
獲取過(guò)濾器，管道或管道系統(tǒng)后面的空氣速度讀數(shù)
專有的MEMS技術(shù)
粉塵分離系統(tǒng)使顆粒遠(yuǎn)離傳感器芯片
